案例详细
“点石成金”的芯片制造业
“半导体工业”,“芯片制造”,这些绝对是当前最火的词。一片小小的芯片,要历经:
芯片制造业最常用的材料 “硅”,属于半导体;并且IC工作基本原理,与半导体特性相关;所以这一工业也被称为“半导体工业”。
自然界中无处不在的沙子,其主要组成部分也是硅元素;而高度集成的核心芯片,价格远高于黄金;所以半导体芯片制造业,也被称为“点石成金”的行业,它最大程度集中了资金,技术,人力等资源,成为现代最核心的高科技产业。
ZYGO 与半导体芯片制造
当前芯片制造,已经进入到数纳米的微观世界,涉及到材料,光学,精密机械等等几乎所有领域的尖端技术。
ZYGO 公司三个主要业务部门,光学计量设备,精密位移控制,精密光学制造,都在半导体相关领域有着广泛应用。
ZYGO 为半导体行业核心装备-“光刻机”,提供基于差频激光干涉,高精度位移 ZMI 检测方案。ZYGO是国际上先进光刻机中-“位移控制系统”,主要供应商。
纳米级,非接触,光学计量方案
芯片制造的各个步骤,都会在纳米级尺度上,关注晶圆表面形貌,纹理,以及微观结构等等信息。
ZYGO 激光干涉仪及光学轮廓仪,基于光学干涉原理,以非接触方式,纳米级测量关键面形貌及纹理;广泛应用于晶圆制造,芯片封装等等半导体工业领域。
超精密光学器件
半导体行业核心装备-“光刻机”中,会用到大量超精密光学器件。包括用于光刻物镜,纳米级超精密球面或非球面透镜(上图);以及承载晶圆的超精密微晶平台(下图)。
ZYGO超精密光学加工部门,为半导体光刻机核心厂商,定制和批量技工这些超精密光学器件。
半导体芯片制造业,几乎集中了所有行业的尖端技术;这其中超精密光学制造,精密光学计量技术尤为重要。
ZYGO 作为精密光学制造及计量的知名公司,为半导体行业最挑战的应用,提供专业的解决方案。