光学3D轮廓测量仪
  • 白光干涉平面度快速测量机

    产品介绍:
    平面度测量机,采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估 , 广泛应用于半导体行业( Wafers) 、 LCD 掩膜 (Photomask) 、玻璃 (Glass) 、泵、阀门密封件表面 (Sealing



平面度测量机,采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估
广泛应用于半导体行业(Wafers)LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。

产品特点:
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: <0.4µm
◆ 测量速度快: <3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动指定区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
技术参数:




应用示例: