产品详细

智能型多功能椭偏仪


Smart SE,  智能型多功能椭偏仪


Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。


Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到高端研发,满足不同层次和需求的客户。


Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具,以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。


Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。


事业部: 科学仪器

产品分类: 椭圆偏振光谱仪

制造商: HORIBA France SAS


概要:

快速、准确

易于升级

光斑可视化


标准配置
光谱范围: 450nm to 1000nm
光谱分辨率 优于3nm
光源 卤素灯和蓝光LED
测试时间 小于1秒到10秒
光斑尺寸

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

入射角 450 to 900 ,步径50
样品尺寸 200mm以内
样品准直 手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角
外形尺寸 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)





性能
空气对射精度 Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
厚度准确性: 0.04%
厚度重复性: ±0.02%