产品详细
智能型多功能椭偏仪
Smart SE, 智能型多功能椭偏仪
Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。
Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到高端研发,满足不同层次和需求的客户。
Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具,以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。
Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。
事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS
概要:
快速、准确
易于升级
光斑可视化
标准配置 | |
光谱范围: | 450nm to 1000nm |
光谱分辨率 | 优于3nm |
光源 | 卤素灯和蓝光LED |
测试时间 | 小于1秒到10秒 |
光斑尺寸 |
75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm |
入射角 | 450 to 900 ,步径50 |
样品尺寸 | 200mm以内 |
样品准直 | 手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角 |
外形尺寸 | 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D) |
性能 | |
空气对射精度 | Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20 |
厚度准确性: | 0.04% |
厚度重复性: | ±0.02% |