QualifireTM新功能，新技术

• 全新设计的环纹抑制功能 – Qualifire™ 全新飞点（Flying Spot）环纹抑制模式，集成了 ZYGO 专利的RoF（Ring of Fire）和（CARS） 技术的精华，可以消除干涉腔中相干空间噪点和相干牛眼纹，是新一代的环纹抑制解决方案。
• 平面腔自动对焦 – 无需基于小工具，比如纸片边缘、靶标等进行手动人工对焦；Qualifire™可以实现基于相位，对于平面干涉腔的自动对焦，从而稳定提高干涉仪ITF相位光学分辨能力。
• 全新稳定光学缩放 – 全新的变倍模式，从 1 倍到 3 倍缩放，焦点和图像中心都不会发生偏移。这样在所有光学缩放倍率情况下，都能保证系统误差的可靠去除，而不产生额外的对准误差。
• 智能附件 – 使用 ZYGO 智能附件可实现自动智能设置。智能设置可根据安装的不同附件，自动配置。例如对于各型号平面或球面参考镜 TF 及 TS 智能附件，干涉仪能自动装载出厂校准好的系统误差并自动加以拟合，从测得数据中自动去除系统误差；对于球面参考镜 TS，系统还可自动配置相关参数，以完成曲率半径等应用的计算。

QualifireTM新改进

• 轻量化设计 – Qualifire™更轻，更小！Qualifire™ 最轻的型号不到 21Kg，并且尺寸更加紧凑，其它改进还包括易于抓握的手柄等，都提高了可移动性，以方便需要搬动激光干涉仪以适应测试样品的应用场景。
• 内置机械移相器PMR – 内置的机械移相器 （PMR），消除了搬运设备时的风险；提高了移相器的工作稳定性。

• 模块化，密封的光学系统 – Qualifire™ 的光学系统是完全密封的，避免了灰尘随着时间的推移污染光学器件，增加系统中的光学噪声。这种模块化设计也使维修变得更加容易，即使更换激光器或线路板，也不会干扰任何光学组件。

  移相干涉测量新方法

  菲索设计是许多现代系统中常见的光学计量方法，它使用一个固定的同轴相干点光源来照亮干涉腔。 在大多数情况下，这种设计都非常有效。 当移相和固定照明仍是黄金标准时， Zygo 一直在积极探索、寻求进步，并通过新的飞点模块（Flying Spot Module）探索了动态照明的优势。

  Qualifire 激光干涉仪具有许多具有创造力的、新颖的功能。

  • 飞点：新的环纹抑制技术
  • 平面腔自动对焦
  • 稳定变焦
  • 智能附件  

  Qualifire--功能强大，设计精简
  

  Qualifire 可提供 4 英寸孔径以及同类产品中较小的 6 英寸孔径。某些 Qualifire 型号的重量不到 50 磅（23 千克），这使得该仪器更易于搬运，尤其是在测试元件无法被搬到仪器前的情况下。
  
  另一个优势是内置移相器 （PMR），这消除了移动设备时对 PMR 内部 PZT 组件造成损坏的可能性。其他改进还包括易于抓握的手柄、易于操作的开关按钮。
  
  此外，光学支脚是密封的，提供了额外的保护，从而避免了灰尘随着时间的推移而积聚、增加系统中的伪影。 这种设计也使维修变得更加容易，即使更换激光器，也不会干扰任何光学组件。
  
  值得信赖的 Zygo Verifire 系列的方方面面都经过重新设计，充分考虑了用户体验和对计量的信心，为您带来全新的 Qualifire 产品系列。