产品详细
新型的ZYGO DynaFiz™ 激光干涉仪：
新型的ZYGO DynaFiz™ 激光干涉仪是特别设计为在有空气湍流和极端振动的环境中进行精确的光学计量的优化的光学仪器。DynaFiz™ 光学系统的长寿命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相机的高速快门能够“凝固”振动。这种动态能力提供了在恶劣的环境中，传统的时间相移技术不可能 实现的可靠的测量。
DynaFiz™ 干涉仪的低噪声，高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz™ 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式，把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。采用 具有独特性能和多功能的ZYGO DynaFiz™ 干涉仪将使你的计量得到很大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。
主要性能特点
• 可以在空气扰动和极端震动的环境中进行动态测量；
• 更新的抗振模式QPSI快速机械移相法；
• 优化的光学系统清晰呈现被测面的中频信息；
• LivePhase技术能够进行实时的Zernike分析；
• 影片模式捕获、反映波阵面随时间的变化情况；
• CARS功能，可以消除灰尘脏点引起的衍射环，及其对测试结果的影响
• DynaFiz校正算法，适用于高阶和低阶相差；
图为：DynaFiz® Interferometer System
系统主要参数
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测量功能 |
精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前 |
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测量技术 |
DynaPhase动态测量技术；可选模式：机械相移测量（PSI） |
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校准系统 |
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动态模式 |
DyanaPhase 对准向导校准 |
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移相模式 |
快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) |
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对准视场范围FOV |
±3° |
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测量光束直径 |
4″（102mm） |
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光学中心线 |
4.25″（108mm） |
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激光光源 |
大功率稳定氦-氖激光，IIIa 级 |
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波长 |
633 nm |
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频率稳定度 |
< 0.0001 nm |
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相干长度 |
＞100m |
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成像分辨率 |
1200 x 1200 像素 |
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帧速 |
50Hz（600 x 600 像素：82Hz） |
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数据模式 |
10位 |
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放大 |
电控塔台切换，1X,1.7X,3X |
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偏振 |
接近圆偏振（1.2：1或者更好） |
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光曈调焦范围 |
±2m |
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无线遥控 |
聚焦，放大，校准控制；遥控范围：15m |
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计算机和软件 |
高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO **MetroproTM X软件 |
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安装构造 |
水平卧式或垂直立式 |
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附件 |
参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463 |
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尺寸(长x宽x高) |
60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；带移相器长度增加9cm（3.6in.） |
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重量 |
≤80lb（36 Kg）；带移相器增加10lb（5kg） |
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电源 |
100-240VAC，50/60Hz |
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保修期 |
2年 |
在使用时有如下特性
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MX软件功能强大，操作简单
•集成大量常用测量程序模块 
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简单的定制过程，用户可调
•设定数控采集和数据处理过程中的各种参数 适用于工业化生产的软件
•质量控制－－自动显示“合格/不合格”
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